Robust control for temperature variation of the special suction cup based on feedforward decoupling algorithm

科学家开发基于前馈解耦算法的特种吸盘温度变化鲁棒控制

上海工程技术大学Xintian Liu团队开发基于前馈解耦算法的特种吸盘温度变化鲁棒控制。相关论文于2026年1月1日发表在国际学术期刊《机械工程进展》上。

为了提高碳化硅晶圆加热吸盘表面温升的稳定性和一致性，研究人员采用基于金属氧化物导电涂层加热的特种吸盘。针对由于各区域之间耦合干扰导致特种吸盘表面温升不均匀的问题，提出了一种基于四区域温度控制系统的Smith模糊多级积分分离PID前馈解耦方法。

首先，根据特种吸盘的加热结构和传热机理建立温度控制系统的数学模型。随后，分别构建了有无前馈解耦算法的Smith模糊多级积分分离PID仿真模型，并进行对比实验，同时利用Bode图对系统稳定性进行分析。之后，在基于PLC控制器构建的特种吸盘温度控制系统平台上开展实验测试。仿真与实验结果均表明，研究人员所提出的控制算法能够有效解决特种吸盘表面温度不均匀的问题，并实现基于前馈解耦算法的鲁棒温度控制。

Advances in Mechanical Engineering

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