各个部件按从上至下顺序排序，参照FEI透射电镜排序

照明部分：
•阴极灯丝（filament），接负高压，作用：发射电子
•栅极（Wehnelt cylinder），场发射电子枪没有栅极，接负高压，作用：1、稳定电子束。2、聚焦电子束
•单色器光阑（monochromator aperture）
•单色器（monochromator）
•阳极（anode），接地，作用：加速从阴极发射的电子
•出口狭缝（exit slit），作用：选择需要的电子束
•上偏转线圈（upper deflection coil），作用：调节gun shift和gun tilt
•下偏转线圈（lower deflection coil），作用：调节gun shift和gun tilt
•第一聚光镜（first condenser），强激磁、短焦距，作用：汇聚电子束，束斑缩小为1-5µm
•第二聚光镜（second condenser）（场发射枪没有），弱激磁、长焦距，作用：第一聚光镜焦距很小，无法放置样品，所以加入长焦距的第二聚光镜
•第二聚光镜光阑（C2 aperture），作用：限制照明孔径角
•上偏转线圈（upper deflection scan coil），作用：调节beam shift和beam tilt
•下偏转线圈（lower deflection scan coil），作用：调节beam shift和beam tilt

成像放大部分：
•第一hexapole lens (STEM)
•第一doublet第一Transfer lens (STEM)
•第一doublet第二transfer lens (STEM)
•第一doublet第二transfer lens (STEM)
•第二doublet第一transfer lens (STEM)
•第二doublet第一transfer lens (STEM)
•上物镜（upper objective lens），（可以转换为第三聚光镜（C3））作用：形成一束平行的电子束（parallel beam）来照明样品，当作为第三聚光镜时形成收敛电子束（Convergent Beam）
•试样室
•下物镜（lower objective lens），强激磁、短焦距，作用：形成样品的第一次放大象
•物镜光阑（objective aperture）（衬度光阑），在物镜后焦面（BFP，back foucous plan）上，作用：1、挡住散射角较大的电子，增加衬度，孔径越小，衬度越大。2、在后焦面套取衍射束斑点（副焦点）成像，形成暗场像（Dark-field）
•第一doublet第一Transfer lens （TEM）
•选区光阑（SAD，selected area diffraction），放在物镜像平面（image plane）上（因为物体与所成像是共轭的，所以放在像平面和物平面是等效的，但是因为像平面的像比物平面的像要大，所以放在像平面上便于选区），作用：选取样品区域进行微区表征
•第一doublet第二transfer lens （TEM）
•第一hexapole lens（TEM）
•第二doublet第一transfer lens（TEM）
•第二doublet第二transfer lens（TEM）
•第二hexapole lens（TEM）
•中间镜（intermediate lens），2个，弱激磁、长焦距，作用：1、调节放大倍数。2、选择成像操作（中间镜的物平面和物镜的象平面（object plane）重合）或者电子衍射操作（中间镜的物平面和物镜的后焦面重合），转换操作由调节中间镜的焦距实现
•投影镜（projector lens），2个，强激磁、短焦距，作用：放大中间镜得到的像

一些名词没有查到对应的中文翻译，不敢妄自翻译，所以只保留了英文名，另附一张图便于理解STEM与TEM球差校正器的不同位置：