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▲ Vol 43 Issue 03 | March , 2023
MBE/MOCVD专题
半导体在集成电路、消费电子、移动通信、固态照明、绿色能源、医疗卫生、国防军工等重大领域及人工智能、量子信息、物联网、大数据、云计算等新兴领域应用广泛。半导体行业是国民经济的支柱产业之一,已被列为国家战略性新兴产业。全球半导体市场年产值已接近万亿美元。不断增长的市场需求对半导体器件的性能、功能、能耗、尺寸、稳定性、可靠性、集成度、良率、成本和产量等提出了更高的要求。半导体材料的外延是器件制备的基础所在,也是器件实用化的关键环节。为满足高能效半导体器件的研发需求,半导体材料的外延必须实现晶体质量、位错密度、缺陷密度、应力状态、掺杂浓度、微观结构、化学组成等的精准调控。基于此,金属有机物化学气相沉积(MOCVD)和分子束外延(MBE)已成为化合物半导体材料及其器件结构的主流外延技术。
MOCVD 是由美国洛克威公司的 Manasevit 等人在气相外延生长的基础上于 1968 年提出的一种生长单晶薄膜的新技术。自 21 世纪初,MOCVD 技术飞速发展,目前已成为化合物半导体材料制备的关键技术之一,被广泛应用于发光二极管(LED)、激光器(LD)等光电器件和高电子迁移率晶体管(HEMT)、场效应晶体管(FET)等电子器件的研发,大力推动了半导体产业的高质量发展。
MBE 是由美国贝尔实验室在真空蒸发沉积的基础上于 20 世纪 60 年代研发的单晶薄膜生长技术。1971 年美国贝尔实验室的卓以和(A. Y. Cho)采用 MBE 技术实现了 IBM 实验室的江崎(L. Esaki)和朱兆祥(R. Tsu)提出的超晶格结构生长。自此,MBE 技术被广泛应用于量子阱、超晶格和低维结构的生长,并研制出量子级联激光器、红外探测器、单光子源等重要器件。
真空技术是 MOCVD 和 MBE 外延技术形成并逐渐成熟的基础。其中,MOCVD 技术通过真空系统控制反应腔室的气体压力,调节反应气体的流动状态,以保证沉积过程的正确性、稳定性、均匀性和可重复性;MBE 技术则是在超高真空条件下,将构成材料所需的分子(或原子)束喷射到衬底上进行外延,其背景真空度能达到10-10Pa,大幅度降低了杂质原子的并入,并显著提升了量子结构的界面控制能力。近年来,真空技术的发展大力推动了 MOCVD和 MBE 技术的改进与完善,促使其成为半导体行业材料外延的核心技术。
在此背景下,本期特刊收集了化合物半导体领域采用 MOCVD 和 MBE 技术生长高质量材料和研制高性能器件的最新成果和发现,展示了 MOCVD、MBE 技术应用于材料生长和器件研制领域的发展现状和未来趋势。
https://mp.weixin.qq.com/s/FDQnIhBO4Kn2jQV9WfHb9Q
▲ Vol 41 Issue 01 | March , 2023
海洋碳汇专辑
http://hyxyj.sio.org.cn/CN/1001-909X/current.shtml
▲ Vol 135 Issue 10 | 01 March, 2023
Titelbild: Synthesis of a Dicyclohepta[a,g]heptalene-Containing Polycyclic Conjugated Hydrocarbon and the Impact of Non-Alternant Topologies
Junting Wang, Fernando Gordillo Gámez, Jose Marín-Beloqui, Aitor Diaz-Andres, Dr. Xiaohe Miao, Prof. David Casanova, Prof. Juan Casado, Dr. Junzhi Liu
A polycyclic conjugated hydrocarbon (PCH1) containing four contiguous heptagons was synthesized by Juan Casado, Junzhi Liu et al. in their Communication (e202217124). The four contiguous heptagons form a Z shape in the central π-electron skeleton, giving PCH1 a butterfly-shaped conformation.
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/ange.202301350
▲ Vol 19 Issue 09 | 01 March , 2023
Designing Nanofluidic Diode from a Hybrid-Bilayer Covalent Organic Framework: Molecular Simulation Investigation
Mao Wang, Jianwen Jiang
Molecular Simulation Investigations
In article number 2206382, Mao Wang and Jianwen Jiang design a nanofluidic diode based on a hybrid-bilayer covalent organic framework. Through molecular simulation, remarkable diode behavior is observed. Further analysis reveals that the synergistic effect of counterions in the nanopore has a positive impact on rectification.
https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/smll.202370057
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