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刚完成的一块高精度离轴椭球面

已有 6797 次阅读 2009-11-12 19:39 |个人分类:非球面加工检测技术讨论|系统分类:科研笔记| 离轴, 非球面, 高精度

由于忙于工作,好久没有更新自己的博客了,给大家介绍一下最近的工作。

刚刚完成了一块离轴椭球面,该镜子的难点主要有两个:1、大离轴量,镜子口径为100,但离轴量确达到200mm,导致非球面的偏离量较大;2、非抛物面导致检测难度增加。平行光入射到抛物面会产生一个理想成像点,而椭球面的两个理想焦点往往距离过近或者过远,而不适合实际检测需要,同时也对离轴量的控制带来一定的难度。

下图为需要加工的图纸:


最终检测结果如下图所示:

最后的加工精度为PV0.15波长,rms 0.016波长,其实对面形误差的影响主要是图中右边边缘引起,其实并未进入有效口径。(考虑已经达到rms 0.025,这里为使用方预留了一点口径)

在检测中,为了能够让大家看的更清晰(此时镜子加工的毛病会看的更清楚),只调到了5根条纹,可以看到,几乎是比较完美的等倾干涉条纹。本人感到,如果给以充足的时间,对于某些非球面,是可以达到PV 0.1波长的加工精度。



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1 吴飞鹏

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