我们发明了基于SOI衬底的Fabry-Pérot（F-P）光学谐振腔制备技术，彻底解决了传统F-P腔制备中的刻蚀表面不够平滑的问题，研制出高质量的“硅基F-P腔生物传感器芯片”；并搭建了基于双槽F-P腔结构的光学差分测试系统，检测精度达到了10^-8 RIU（折射率单位），且无折射率范围限制；与Biacore公司的表面等离子谐振（SPR）分析仪相比，检测精度高出一个数量级，价格降低一个数量级。

   该研究成果，发表在美国物理协会AIP的权威刊物上（P. Liu, H. Huang*, T. Cao, X. Liu, Z. Qi, Z. Tang, and J. Zhang,"An ultra-low detection-limit optofluidic biosensor with integrated dual-channel Fabry-Pérot cavity", Appl. Phys. Lett., 102(2013)163701）。