1. 元素结合能数据可参考http://srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx
2. 谱峰的曲线拟合应考虑：合理的化学与物理意义；合理的半高宽（一般不大于2.7eV，氧化物的半高宽应大于单质的半高宽）；合理的L/G比（XPS Peak 41分峰软件中的% Lorentzian-Gaussian）为20%左右；对双峰还应考虑两个峰的合理间距、强度比等（详见下面的3，4项）。
3. 对于p、d、f等能级的次能级（如p_3/2、p_1/2，光电子能谱中一般省略/2，即为p₃、p₁）强度比是一定的，p₃:p₁=2:1；d₅:d₃=3:2，f₇:f₅=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。
4. 对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距离(doublet seperation)也基本上是固定的，如同一价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右。各元素能级分裂数据可参考网上数据库http://srdata.nist.gov/xps/selEnergyType.aspx中 选择Doublet Seperation项
5. 全谱扫描((即Survey)中各峰对应的元素能级参考http://www.xpsdata.com/ 提供的BE Lookup Table表
6. 各元素不同化学状态结合能可参考附件《各元素化学状态表.pdf》，文件扫描自Phi公司出版的手册中的附录2，Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy—A Reference Book of Standard Spectra for Identification and Interpretation of XPS Data，John F. Moulder, William F. Stickle, Peter E. Sobol, Kenneth D. Bomben, Physical Electronics, Inc. ,1992
7. 有机聚合物中的C、O、N、F等的化学位移值可参考John Willey & Sons出版的有机聚合物高分辨XPS谱图中的附录，High Resolution XPS of Organic Polymers-The Scienta ESCA300 Database, G. Beamson, D. Briggs,John Wiley &Sons, 1992

07年的时候去北京化学所刘芬老师实验室请教过拟合的问题，刘芬老师当初的解答主要有两点：1.扣背底选择平的点；2.半峰宽最大在2.0eV左右，峰宽与表面粗糙度有关。