本期编辑荐读为您精选了5篇“微机电系统 (MEMS)”主题文章，内容涵盖表面声波湿度传感器、可调超材料吸波器、音频换能器、惯性加速度计和真空微电子或非门，希望能为相关领域学者提供新的思路和参考，欢迎阅读。

进入期刊英文主页：https://www.mdpi.com/journal/micromachines

文章1

Surface Acoustic Wave Humidity Sensor: A Review

表面声波湿度传感器：综述

Maria Muzamil Memon et al.

https://www.mdpi.com/2267926

文章亮点

(1) 本文回顾了用于开发表面声波湿度传感器的传感材料及其响应。

(2) 本文强调了覆盖传感膜对表面声波设备性能参数 (如品质因数、信号幅度、插入损耗等) 的影响。

(3) 本文建议对传统的SAW器件进行修改，且只在修改后的设计的最佳区域上沉积传感膜，以尽量减少器件特性的显著变化，从而有助于使这些器件适合实际应用。

文章2

Design and Fabrication of Millimeter-Wave Frequency-Tunable Metamaterial Absorber Using MEMS Cantilever Actuators

使用MEMS悬臂执行器设计和制造毫米波频率可调超材料吸收器

Myungjin Chung et al.

https://www.mdpi.com/1786546

文章亮点

(1) 本文展示了一种用于毫米波应用的基于MEMS (微机电系统) 的频率可调超材料吸收器。

(2) 本文设计的吸收器是借助表面微加工，使用光刻胶牺牲层和氧等离子体灰化工艺释放悬臂，在玻璃晶片上制造的。

(3) 本文使用波导测量装置对所制造的吸收器的性能进行了实验验证，结果表明吸收频率随施加的直流偏置电压而下移。

文章3

Recent Trends in Structures and Interfaces of MEMS Transducers for Audio Applications: A Review

MEMS换能器结构和接口在音频应用中的最新趋势

Alessandro Gemelli et al.

https://www.mdpi.com/2247322

文章亮点

(1) 本文分析了被广泛利用的主要集成声音传导原理。

(2) 本文介绍了MEMS麦克风和扬声器的最新性能进展和趋势。

(3) 本文讨论了正确读取感测信号或驱动致动结构所需的接口集成电路 (IC)，目的是全面介绍目前采用的解决方案。

文章4

Printing MEMS: Application of Inkjet Techniques to the Manufacturing of Inertial Accelerometers

打印MEMS：喷墨技术在惯性加速度计制造中的应用

Roberto Bernasconi et al.

https://www.mdpi.com/2555372

文章亮点

(1) 本文介绍了喷墨材料沉积可以作为生产聚合物惯性传感器的关键技术。

(2) 本文提出了一种全喷墨打印的聚合物加速度计，并描述了其制造步骤，从而生产出功能性弹簧质量传感器。

(3) 本文从形态学角度表征了所制造的设备，证明了通过喷墨打印生产聚合物加速度计的可行性，以及其在高精度加速度测量等用途中的潜在适用性。

文章5

Proof-of-Concept Vacuum Microelectronic NOR Gate Fabricated Using Microelectromechanical Systems and Carbon Nanotube Field Emitters

使用微机电系统和碳纳米管场发射体制造的真空微电子或非门概念验证

Tasso von Windheim et al.

https://www.mdpi.com/2273058

文章亮点

(1) 本文提出了一种完全集成的真空微电子或非门。

(2) 真空微电子或非门由两个平行的真空四极管组成，采用多晶硅多用户MEMS工艺 (polyMUMPs) 制造。

(3) 本文测试了真空微电子或非门的辐射耐受性，概念验证了用于高辐射环境的复杂真空微电子逻辑器件平台的可构建性。

Micromachines 期刊介绍

主编：

Ai-Qun Liu, The Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong, China; Nanyang Technological University,  Singapore;

Nam-Trung Nguyen, Griffith University, Australia;

Mehmet Remzi Dokmeci, Terasaki Institute for Biomedical Innovation, USA;

Igor Medintz, US Naval Research Laboratory, USA

期刊研究内容涉及微/纳米结构、材料、器件、系统及与微纳技术相关的基础研究和应用。

2023 Impact Factor：3.0

2023 CiteScore：5.2

Time to First Decision：17.7 Days

Acceptance to Publication：2.5 Days