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苏州汶颢芯片公司学习笔记

已有 3177 次阅读 2014-9-1 16:30 |个人分类:微流控芯片|系统分类:科研笔记

PDMS

PMMA

Glass

材质较软,外界压力存在时容易变形,做生物实验时,容易吸附蛋白,染料等,会有溶胀现象

材质较硬,微毒,不耐有机溶剂,有机溶剂可能会溶解PMMA中塑料成分,表面光滑度低

加工微通道不规则,有机酸腐蚀,是双向腐蚀,微通道底部不是规则平面,是圆滑底部。机械加工小于200um通道加工不了,粗糙度1-1.5um

 

基片和盖片键合原理:等离子键合机活化基片和盖片活性自由基,然后将两个组分合二为一。承受的注射泵压力上限为0.3Mpa。可以保证深宽比=1:1,其他比例可以试着做,不保证成功。通道宽度至多300um。粗糙度纳米级

晶圆是4寸的

建立实验室:

阳膜部分(预算至少20-25万):

匀胶机

恒温台(推荐两个,以为会用到65°和95°),我个人认为可以自己联系别人做加热板,我们实验室自己做过

光刻机

芯片制作部分(预算10万左右)

PDMS 真空搅拌机  去除气泡的

烘箱  固化用   温度80°

等离子键合机

超净间根据芯片要求考虑是否设计建造(可以利用细胞培养间)

芯片使用部分

注射泵:建议一定买进口的,在使用时,液流存在脉冲,进口的比较稳定

显微镜:根据实验需要选择级别

液路控制:多元气泵

芯片规格:宽度至少10um,保证深宽比=1:1,厚度最多400um

材质 SU-8  负性,见光聚合,形成方形通道,深度最大50um

NAZ 50-XT  正性,见光分解,材质比较软,烘烤的时候容易变形



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