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长薄膜的人都知道要获得高质量的薄膜,首先要有高品质的具有台阶表面的衬底。目前国内厂家出厂衬底一般都是没有台阶表面的。若要购买台阶表面衬底皆要从国外,例如日本,购进,价格及其昂贵。所以去年在真正长薄膜之前,我做了好几个月的衬底处理工作,最后总算功夫没有白费,摸出了几种衬底的处理方法。虽然因为出厂衬底本身miscut各异,获得台阶表面衬底表面台阶还不是那么完美,但终归是比不处理有了极大的提高,可以基本满足长薄膜的需要。这里贴出几张图片来,以纪念自己过去的努力!
第一张 出厂001SrTiO3衬底
第二张 处理好的001SrTiO3衬底
第三张 处理好的001SrTiO3衬底
第四张 处理好的110 DyScO3衬底
第五张 处理好的110 GdScO3衬底
第六张 处理好的111SrTiO3衬底
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GMT+8, 2023-9-30 01:19
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