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置顶 · 浅槽隔离工艺(STI)
2024-6-15 22:01
CMP可应用于半导体器件制造的前道工艺(FEOL),中道工艺(MOL)后道工艺(BEOL)。EOL阶段CMP的重要工艺是浅沟槽隔离(STI),MOL阶段CMP的重要工艺是钨接触层抛光和层间介质(ILD)抛光工艺,在 BEOL 阶段 CMP,Cu、TaN/Ta 或其他线的去除工艺很重要。今天我们着重介绍的是浅沟槽隔离工艺 STI(shallow trench isolation)。STI ...
个人分类: 化学机械抛光|2504 次阅读|没有评论
X射线“吸收光谱“知识(一)
黄振鹏 2020-5-10 20:05
X 射线“吸收光谱“知识 随着同步辐射光源的建造,X射线吸收谱学方法(XAS)得到了前所未有的发展,在物质结构表征(包括原子结构及电子结构等)、理化性能解释(比如单原子催化剂位点研究、In-situ/operando测试等)都发挥着越来越重要的作用,前沿 ...
个人分类: 理论知识|24931 次阅读|没有评论
学术型PPT的制作
黄振鹏 2020-5-7 14:58
学术型PPT,其更偏向为阅读型PPT。不同于演讲型PPT那种往往只放一张高清大图,上配几个大字的简约形式,学术型PPT应首先保证内容严谨,逻辑清晰,然后在此基础上追求美观大方,最终起到辅助演讲者传播知识,让观众更好地理解学术内容的作用。 因此,本文第一部分从学术型PPT内容的严谨及 ...
个人分类: 化学机械抛光|5341 次阅读|没有评论
负载型催化剂中表/界面位置处的的TOF计算
黄振鹏 2020-4-29 16:28
思考:平时我们通过 化学吸附或滴定测试分散度,再计算其活性位数目。这里就存在两个问题:1通过化学吸附计算分散度,我们默认假设了暴露出的金属原子就是反应活性位,这个其实并不严谨,顶多就是金属颗粒表面与所选取探针气体分子具有一定的化学吸附;2假设所暴露出的金属原子都是活性位,这些处于不同位置的金属原 ...
个人分类: 环境催化|5536 次阅读|没有评论
论文赏析-构建多级界面的PtFe-FeOx/TiO2结构
黄振鹏 2020-4-28 18:26
总结:一个很有意思的工作,首先通过油胺法合成PtFe的纳米线,再将其组装在常见的载体TiO2,通过简单的低温焙烧,构建了具有协同作用两个界面PtFe-FeOx和PtFe-TiO2,同时展现了优异的CO低温氧化和较好的耐久性,更令人眼前一亮的是通过同位素标记实验,阐明了两个界面的反应机理。通过这篇文章,我们也可以 ...
个人分类: 环境催化|2028 次阅读|没有评论
[转载]同济大学关小红教授云端课程“规范的科研表达”录播视频分享
黄振鹏 2020-4-28 09:24
课程主题:规范的科研表达-那些你会忽略的细节 https://mp.weixin.qq.com/s/5fBcudB0SoCmQWWMLck5vA
个人分类: 纳米颗粒-溶液相合成法|2403 次阅读|没有评论

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