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滤膜的种类及结构-2
热度 1 黄振鹏 2024-6-21 21:45
往期博文: 科学网—滤膜的种类及结构(微电子,生物制药应用) 、 常见的不同物质的过滤或分离范围 均匀孔结构(左边)和渐变孔结构(右边)的比较 非固定型孔道和固定型孔道区别 胶联状态的滤材往往更稳定,在滤芯的使用寿命中更稳定的性能表现,同时可以做的比较薄,压差较低 较高的纳 ...
个人分类: 化学机械抛光|470 次阅读|1 个评论 热度 1
超滤或微滤过程中的膜污染机制-修改
黄振鹏 2024-6-21 20:46
往期博文: 科学网—滤膜的种类及结构(微电子,生物制药应用 科学网—切向流过滤工艺的优化 膜污染 ,是指在膜过滤过程中,水中的微粒、胶体粒子或溶质大分子由于与膜存在物理化学相互作用或机械作用引起在 膜表面或膜孔内吸附、沉积造成膜孔径变小或堵塞,使膜通量变小且分离特性变差 的现象。膜污染的 ...
个人分类: 理论知识|494 次阅读|2 个评论
浅槽隔离工艺(STI)
黄振鹏 2024-6-15 22:01
CMP可应用于半导体器件制造的前道工艺(FEOL),中道工艺(MOL)后道工艺(BEOL)。EOL阶段CMP的重要工艺是浅沟槽隔离(STI),MOL阶段CMP的重要工艺是钨接触层抛光和层间介质(ILD)抛光工艺,在 BEOL 阶段 CMP,Cu、TaN/Ta 或其他线的去除工艺很重要。今天我们着重介绍的是浅沟槽隔离工艺 STI(shallow trench isolation)。STI ...
个人分类: 化学机械抛光|822 次阅读|没有评论
滤膜的种类及结构(微电子,生物制药应用)
黄振鹏 2024-5-19 16:04
过滤是一种最常见的分离纯化方法,通常用于液体或气体混合物的分离。其原理为:在外界推动力(重力,压力,离心力等)的作用下,位于过滤介质一侧的悬浮液(或气体)中的流体通过过滤介质向另一侧流动,而固体颗粒被介质所截留,从而实现流体与颗粒物体的分离 。 膜过滤的过滤机制主要有三种: 机械截留 :这是最直接的过 ...
个人分类: 理论知识|1305 次阅读|3 个评论
动态光散射法测试纳米颗粒的基本原理
黄振鹏 2024-4-27 11:52
相关网络资料整理 动态光散射法测量纳米粒子的水合直径及其分布----国家纳米科学中心 (cas.cn) 动态光散射( Dynamic light scattering , DLS )是测量亚微米级颗粒粒度的一种常规方法。此项技术具有可快速测量得到粒子的平均水合直径及其分布。本标准测试方法将概述样品准备、实验操作、结果分析。纳米 ...
个人分类: 理论知识|881 次阅读|没有评论
超细5 nm单晶CeO2纳米颗粒室温合成
黄振鹏 2024-3-24 15:32
室温下,利用均匀成核法室温下首次合成了CeO2单晶, 通过电子显微镜和比表面积测定了氧化铈纳米颗粒的大小仅仅为4-5 nm。结合相关公式,计算了所合成的氧化铈 纳米单晶表面能在 2.8 ~ 3.7 J/m 2 之间。在高温焙烧中,我们发现了颗粒的粒径大小 d BET =6 /( p • SSA ) 随温度升高而升高,但增长趋势 ...
个人分类: 纳米颗粒-溶液相合成法|758 次阅读|没有评论
沉淀法合成纳米氧化铈颗粒:反应气氛和反应温度的影响
黄振鹏 2024-3-24 13:52
本文研究了 反应温度和气氛对沉淀法制备的CeO2颗粒粒度、形状和晶体结构的影响 。实验结果表明:所 制备的颗粒为原生、无孔、立方萤石结构;反应温度和O2/N2混合气中氧气的含量对颗粒的形貌,尺寸具有重要影响,具体地,随着反应温度的升高,O2含量增加,氧化铈颗粒的晶粒粒径和平均颗粒尺寸均变大。 当温度从30 ...
个人分类: 纳米颗粒-溶液相合成法|1544 次阅读|1 个评论
CMP中的氧化铈浆料:Zeta和硅酸盐吸附试验
黄振鹏 2024-3-23 15:38
为了进一步阐明SiO 2 基衬底的化学机械抛光的机理,通过 吸附和Zeta电位测试实验 来研究氧化铈颗粒与硅酸盐离子的相互作用。实验结果表明:当CeO 2 分散液中存在硅酸盐离子时,氧化铈粒子的zeta电位由正变为负,进一步,随着硅酸盐离子含量的增加,氧化铈颗粒的等电点IEP向更低的pH值移动。 此外,硅酸盐离子在氧化 ...
个人分类: 化学机械抛光|994 次阅读|没有评论
水热合成的三种生长机理
黄振鹏 2024-3-16 15:50
水热合成是指在一定温度(100-1000℃)和压强(1-l00 MPa)条件下 使得通常难溶或不溶的物质溶解,并且重结晶 而进行无机合成与材料处理的一种有效方法。 一般水热反应釜 体和釜盖用不锈钢制造, 内衬材料是聚四氟乙烯。 采用外加热方式 , 以烘箱或马弗炉为加热源。 由于使用聚四氟乙烯, 使用温度应低于聚四氟乙烯的软 ...
个人分类: 纳米颗粒-溶液相合成法|1393 次阅读|5 个评论
水热法合成纳米氧化铈
黄振鹏 2024-3-10 19:12
将水热法和均相沉淀法结合,以尿素作为沉淀剂,铈(IV)盐( Ce(SO4)2·4H2O, Ce(NH4)4(SO4)4·2H2O )作为金属前驱体溶液,改变水热的温度,制备了纳米晶氧化铈(CeO2)粉末。同时,系统 考察了尿素浓度和水热处理,焙烧温度对合成颗粒形貌和晶粒尺寸的影响。 结果表明: 随着尿素浓度从Ce4+浓度的2倍增加到8倍, ...
个人分类: 纳米颗粒-溶液相合成法|1135 次阅读|没有评论

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