高品质因子回廊耳语模式微腔由于在光通讯、量子信息、光传感等研究领域具有重要地潜在应用价值而受到人们广泛地关注. 各国研究人员发展了各种高精度微纳加工技术实现高品质因子回廊耳语模式微腔的制备. 最近一篇综述详细介绍了利用飞秒激光三维(3D)加工技术制备回廊耳语模式微腔的研究进展, 并讨论了该技术在微腔制备方面的应用前景.

图1  三维飞秒激光加工打印回廊耳语模式微腔显微镜图

相关论文的题目为：“Femtosecond laser 3D fabricationof whispering-gallery- mode microcavities”, 是近期出版在2015年第11期Science China-Physics,Mechanics & Astronomy(《中国科学》英文版)的综述文章, 由吉林大学徐淮良教授和孙洪波教授撰写.

飞秒激光技术的三维(3D)加工技术具有三维、高精度微纳加工能力, 它已被广泛应用于制备各种微流、微电子、光电子、微机械、微传感、微仿生和微光学器件. 但直到最近才有将该技术应用于高品质因子(Q)回廊耳语模式微腔制备的研究报道.

该文首先介绍了基于飞秒激光技术的三维(3D)加工原理. 不同于长(纳秒)脉冲激光加工技术, 由于飞秒激光具有超短脉冲、超高强度以及800纳米波长对大部分材料的高穿透特性, 它与物质相互作用是非线性的, 并且超短相互作用时间压缩了热影响区域, 使其具有3D高精度加工能力.

该文随后详述了当前利用飞秒激光加工技术的3D加工能力在各种不同材料如聚合物、玻璃和晶体中制备有源、无源回廊耳语模式微腔、变形微腔以及微腔集成光传感器件的进展. 该文也探讨了所制备三维微腔与其它技术相比存在的优缺点.

这一综述回顾了利用飞秒激光加工技术制备回廊耳语模式微腔的研究背景、研究意义和研究进展. 该文对于发展飞秒激光制备高品质因子回廊耳语模式微腔和微腔集成功能器件具有重要参考价值.

该项研究得到了国家重大科学研究计划项目(No.2014CB921302)资助.

更多详情请阅原文：

XUHuailiang & SUN Hongbo, Femtosecond laser 3D fabrication of whispering-gallery-modemicrocavities, Science China-Physics Mechanics & Astronomy, 2015, 58(11):114202

http://phys.scichina.com:8083/sciGe/EN/abstract/abstract509981.shtml

订阅《中国科学: 物理学 力学 天文学》微信公众号，手机同步关注最新热点文章、新闻、科技资讯, 请添加微信号SCPMA2014或扫描下方图片关注.