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1) 微波ECR源的构造

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网文解读：

1. 美泰 1500W微波源 1.5kW超高稳定微波功率源 微波等离子体   58000

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 高稳定程控微波源适合与微波等离子体化学气相沉（MPCVD）系统、微波等离子镀膜系统、微波ECR系统、微波等离子源系统、微波精细陶瓷烧结系统等配套，为不同的微波反应腔体提供精确、稳定的微波功率源。

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系统组成及技术指标

2.1.系统组成：为方便连接各种不同类型的波导系统，本微波源将微波功率头从电源控制柜中分离出来，既方便波导连接，也便于安装操作。

（1）微波功率头：采用微波磁控管规格型号为2M266 1.5kw/2450MHz±5MHz作为功率源，最大输出功率为1.5KW。如图2.1所示。

（2）控制系统：采用智能芯片编程控制，可控制微波输出功率。采用了安全保护系统，保证系统正常、安全地工作。提供负载联锁保护接口，能有效地防止误操作保护操作人员。如图2.2所示。

（3）传输系统(为选配件)：配备有环行器、短负载、手动或电动三销钉调配器等件。如图2.3所示。

2.2.主要技术指标：

（1）工作频率：2450MHz±5MHz。

（2）输出功率：100W-1500W连续可调（要求三相电压不平衡最大电压差不超过5%）。

（3）功率稳定度：电源电压变化在370～390V范围，输出功率为1.5kW时，输出功率稳定度优于±0.5%，输出功率纹波优于±0.5%。

（4）控制方式：用智能芯片控制，可编程运行，在系统工作时可在线升、降微波功率。

（5）设定功率显示、输出功率显示和反射功率显示：MPG-2015D型采用触摸屏显示设定功率，并显示输出功率。反射功率采用数字显示表头显示。（反射功率采样头安装于短负载上，此短负载部件为选配件）

（6）设备保护系统：具有完善的保护系统，对电源、冷却水、微波反射、内部打火等异常情况进行自动保护；磁控管各参数自动监测和联锁保护；提供外接联锁保护接口，含5-12V直流保护输入端口，工业用户为220V交流保护输入端口，用户在购买设备时请说明用途以备选择。（注：无外接保护开关时，应将此开关短路。）

（7）系统操作方式：采用触摸屏操作方式，并提供简易操作模式和用户编程操作模式选择。

（8）输出波导：BJ-26带FD-26标准法兰盘

（9）电源：三相四线 380V/50Hz 三相电源 370V～390V 范围

（10）功率：4.5KW

（11）接地电阻：5Ω

（12）冷却水压：4公斤

（13）冷却水流量：3升/分

（14）微波泄漏：符合国家安全标准

2.  北京天华中威科技有限公司    南京三乐微波

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