此文来自与SEIKO的工程师交流所得,一些话是他所说得,不知物理的和电子的内在的原因
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1. AFM相图是在轻敲模式下得到的,探针是晶片的驱动下振动的,因为探针要与样品作用,因此探针的振动与晶片的振动是不同步的,两个振动曲线的振动的相位差是就是相图的值。
2. 两个振动不只在振幅上有差别,在频率和波形上都有差别。
3. 通常,粘性大的,相差大,因为反应滞后;粘性小的,相差小;但是这不是确定的。
4. SEIKO的机器一些机器对于相图是不归零的,如SPA400系列,而VEECO的是归零的。不归零的话得到的相图的值是某个不过零的范围,如-10~-40,30~50degree,而归零后则是0~N degree。
5. 相图比高度图灵敏度高,因为相图是由晶片与探针的相位差直接得到得,而高度图是经过一系列的反馈计算得到的。(为什么呢?)这也是为什么高度图很好扫好图,而相图很难得到好图,受参数影响很大,甚至无法得到好的相图。前段时间,Cavendish实验室的报告中,他们的相图也是很糟糕,各种bug。
6. 严谨地讲,相图中光凭相位差是不能区别两相分别是什么,因为相位差是不固定得,虽然大部分达不到这么大,通常都在5~50间。好在我等这样的有机电子学对薄膜的了解是不需要区别的,只需要说相分离的尺度是多少。工程师也不知道,“你们凭经验吧”,:(
7. SPA 400中的软件SPI3000等中的Topo(servo)是形貌的一种,而topo(sens)是早期机器的一种形貌计算方式,现在已经不用了。
8. SEIKO的NC Force 相当于Veeco的error,是指高度图中的误差值,比如说扫光栅时,在棱角处,他的NC Force就很大,可以用导数来理解,测试时开着这个图有利于理解扫描时样品表面的状态。
9. parameter中的trace mode和trace distance是在扫磁性时(MFM)时的设置,先扫一条线的tapping,之后抬起一段距离(trace distance),再扫这条线的磁性质等。
10. SPA的几种holder是不能混用的,AFM、DFM,c-AFM。DFM有晶片来驱动振动,c-AFM中有导线测试电流。而一些veeco的holder是可以通用的,这也是前几天某德国人做报告时做了一个很无聊的工作,拿tapping mode找到一个DNA,然后切换到contact mode随意挪动它,再用tapping mode扫图,用同一根针。靠,有本事他拿SEIKO的机器试试,换holder,找样品,累死他。多功能的holder和针就是对于特别的测试,如电、力、磁等,就是好啊,赞一下Veeco Demension V.
2011-10-5 10:37:16
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