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怎样从透射谱中分析薄膜的折射率厚度及光学带隙
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1.ppt
一直在做电子薄膜的沉积，最苦恼的事是分析，薄薄的一层，要从中提取出结构信息、电子学特性的信息、光学特性的信息，关于厚度等的物理属性信息等等，得做大量的工作。做工作不怕，怕的是分析结果的不确定性。在半导体测量中就没有精度这一说。一直用透射谱分析薄膜的折射率厚度及光学带隙等信息，把相关分析方法告诉学生，结果学生分析出来的数据五花八门，问为什么得到这样的结果，也说不出个所以然来。
今天大雨封门，一天没出去。找来相关文献，从头把分析理论看了一遍，再拿来一组数据，亲自动手分析。发现薄膜厚度的误差可以小于１%。太激动了。我自己早前并没有发现这一妙处。干脆把分析方法整理出来，以ppt文件的形式写好。明天交给学生，以后的学生都可以参照此版本来分析数据了。
把ppt文件附再后面，希望听到更多人的意见。其中包络线是通过origin人工做的，不知有没有软件可以直接给出来。岛津的分光光度谱仪带了薄膜厚度测试的软件，但其中的折射率需要用户给出，这个对用户来说是困难的。其实用我们这里介绍的方法是可以直接从透射谱中得出来折射率的。
ppt中只介绍分析步骤。理论部分在参考文献中。
https://blog.sciencenet.cn/blog-79300-459451.html
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