X射线光电子能谱技术（XPS）与其他分析技术的区别在于它的基本原理和应用领域。例如，与EDS（能量色散X射线谱）相比，XPS是用X射线打出电子，检测的是电子；而EDS则是用电子打出X射线，检测的是X射线。此外，EDS只能检测元素的组成与含量，不能测定元素的价态。

   另一个常与XPS配合使用的分析技术是俄歇电子能谱技术（AES）。由于XPS可以比AES更准确地测量原子的内层电子束缚能及其化学位移，所以它不但为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为材料科学、物理学、生物学等领域提供重要参考数据。

   X射线光电子能谱（XPS）又称化学分析用电子能谱，是利用单色X射线照射样品表面，作用后产生光电子，通过测量原子内层的电子结合能来推知样品中所含元素的种类，并通过分析结合能的化学位移，找到元素的价态变化或与电负性不同原子结合的证据 。它是一种用于测定材料中元素构成、实验式，以及其中所含元素化学态和电子态的定量能谱技术。

多功能X射线光电子能谱仪

（图片来源：中国科学院西北生态环境资源研究院地球化学分析测试中心网站）

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