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固体表面轮廓与布朗运动

已有 1459 次阅读 2022-3-31 16:03 |个人分类:随机过程|系统分类:科研笔记

任何用裸眼看起来非常光滑平整的固体表面,如制造集成电路使用的硅片、激光反射镜和纳米薄膜的制备衬底等,若用表面粗糙度测量仪检测,都会得到一条与布朗粒子位移曲线相似的表面轮廓曲线(图1)。


图8.png

图8 光滑固体表面微观轮廓曲线

对实际表面轮廓测量数据进行微分处理,就可得到与白噪声波形相同的表面粗糙度轮廓曲线,因此,表面轮廓数学模型与光纤陀螺中的布朗噪声一样,都可表示为白噪声的积分。

[公式]

式中 [公式] 为固体表面的高度值,[公式]为零均值不相关白噪声。

工程技术领域对光滑表面质量的研究结果表明:在宏观尺度下呈现为直线的固体表面轮廓,在微观尺度下表现为与布朗运动位移曲线相同的随机曲线。




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