扫描电镜的能谱分析EDS，即SEM面扫描，可以得出里面的元素以及分布（C、H等轻元素不能检测）；然后选取特定的区域对于有特点的地方进行单独分析，此多为定性分析，或者相当于半定量分析，数值结果可以参考。XRF测材料的成分也是半定量（通常是原子序数>9，氟和氟以上的都能做)。XRD也可以测试，但含量数值需要计算得出，也是半定量测试。

假如是标准材料，有固定牌号的，则可以使用直读光谱仪分析；没有牌号或不知道其具体牌号，使用直读光谱仪测试，难免误差较大或测试不出结果；只知道可能含有某种元素，不知道其成分大约含量在什么范围的，可以使用等离子体发射光谱ICPS对其测试。还有化学分析，这个人为因素和环境因素较多。

举个实例吧，对同一试块，成分为铁铜碳的粉末冶金材料，实际含铜16.20%～16.80%，使用不同手段仪器检测，铜含量如下：

1 EDS检测，选取不同的面域，分析三次，结果如下：

Cu：10.20、13.62、14.85

2 化学分析铜含量两次，结果如下：

Cu：16.60%，17.20%

3 因没有合适的标准试样，使用钢铁试样，直读光谱仪分析结果如下：

Cu＞1，检测不出；

4 ICP光谱仪检测：

Cu，16.68%。

注：这儿说的测试方法并不唯一，只是几种方法结果的对比。欢迎提出不同意见或检测方法。

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作者简介：李其龙，男，硕士学历，主要从事材料科学与机械加工方面的研究。Email：li-qilong@163.com

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李其龙. 铁基材料成分的几种测试方法[J]. 粉末冶金服务网周刊, 2013, 35：18.

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