【内容简介】

绝缘体上硅(silicon on insulator，SOI)技术在高速、低压低功耗电路、高压电路、抗辐射、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面具有重要应用，是微电子和光电子领域发展的前沿,被国际上公认为"二十一世纪的硅集成电路技术"。本书收集的纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇，主要内容包括: SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展， SOI新材料的制备科学， SOI材料与器件特有的物理效应，绝缘体上锗硅（silicon germanium on insulator, SGOI）新结构和应变硅的制备科学，SOI技术的若干应用研究等。书中论文包含了高端硅基材料前沿领域的多方面创新研究成果。本书可作为微电子、光电子、微机械、半导体材料、纳米材料等专业的大专院校师生和专业技术人员重要的参考书，也可以作为信息领域其他专业的师生、科研人员和工程技术人员参考资料。