博文
低密度Sn激光靶材
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本课题组合成了密度及微观形貌可控Sn激光靶材，采用激光等离子体轰击Sn靶材，
具有更高的发射强度和更低的碎片，对于开发高效率的激光等离子体发射
EUV光源具有重要的意义。
C. Pan, Z.–Z. Gu, K. Nagai,Y. Shimada, K. Hashimoto, T. Birou, T. Norimatsu, SnO2 Target with Controllable Microstructure and Thickness for Generating Extreme Ultraviolate Light, J. Appl. Phys. 2006,100, 016104–1–3.
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