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AlGaN/GaN HEMT 传感器

已有 3249 次阅读 2014-6-11 16:22 |系统分类:科研笔记

课题组进行了"生物分子膜"门电极AlGaN/GaN HEMT传感器的研究制作了欧姆接触电极大小为2mm×2mm,源极与漏极间距为2mmAlGaN/GaN HEMT生物传感器对不同浓度的PSA进行了测量,结果显示该生物传感器对PSA的探测极限低于0.1pg/ml,相关结果比目前报道的AlGaN/GaN HEMT生物传感器测试PSA的探测极限提高了2个数量级。显示了AlGaN/GaN HEMT生物传感器的良好应用前景,后续工作将继续开展传感器的实时检测,封装的优化等方面的工作。

  该研究成果发表在物理学报,J. Micromech. Microeng及Microsystem Technologies杂志上。



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