AutoCAD与L-edit软件“合作”
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2012-11-19 17:08
|个人分类:科研生活|系统分类:科研笔记|
操作, AutoCAD, 版图, Ledit, linkCAD
最近需要做一块光刻版,cell为圆,圆心位置不具有平移对称性,但具有一定的旋转对称性。这就增加了一定的难度,Ledit在做旋转及对称操作时不太方便。经过几天的摸索与实践,现总结经验如下。
1,AutoCAD在平面及三维制图具有相当的优势,做旋转,平移,镜像,阵列操作非常方便。所以先利用CAD制作圆,当圆的数量超过几十万个时,对计算机性能要求比较高。利用图层及基本操作制作好版图,另存为.dxf格式文件。
2,利用linkCAD软件将.dxf文件转换为GDSⅡ格式文件。linkCAD是一款非常好用的图形格式转换软件。
3,利用Ledit将GDSⅡ格式导入,即生成版图,再利用Ledit里的复制操作。
但是有个问题,当CAD中的圆转变为Ledit里时,并不是圆,而是多线段,因为圆就是一定数量的多线段组成的。这就会使几M的CAD文件变为几百M的tdb文件。解决这个问题如下:
a, 利用工程桩自动编号并提取坐标程序gczbhg6.VLX把CAD里的圆心坐标统计出来,存为txt文件。
b,在Ledit里画个圆,利用copy命令结合txt文件,即可做出圆,而并非多线段,这样会使tdb文件小些。
我做的版图圆的数量比较多,做图过程中出现过许多问题,但最终都逐一解决。尽管耗时较多,但学到了不少东西。
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