封面设计理念

本封面以光刻胶用于芯片制造的晶圆为背景，封面主体为光刻胶主体材料聚合物缠绕形成聚集体（不同颜色示意图），左侧聚合物侧链上的绿色小球代表光敏基团，聚集体被光束穿过代表着聚合物曝光，发生光化学反应，右侧为聚集体为曝光显影后，聚合物侧链基团发生变化（颜色由绿色转变成黄色或红色），实现溶解性转变和图案转移。

文章亮点

提高非化学放大型光刻胶灵敏度是实现光刻胶综合性能提升的关键。本文设计合成了侧链由高反应效率的羧酸肟酯光敏基团修饰的聚合物，构建了非化学放大型光刻胶，较低的曝光剂量即可引起聚合物侧链结构发生光化学反应，使聚合物在曝光前后发生显著的溶解性转变，显影实现图案化，该研究为提高非化学放大型光刻胶的灵敏度提供了一种新的思路。

文章背景

传统的光刻胶以化学放大型光刻胶(CARs)为主，CARs具有高灵敏度的优点，但体系中组分分布不均和酸扩散不可控等因素不利于提高光刻图案的分辨率。非化学放大型光刻胶(n-CARs)可以设计成“单一组分”，无需化学放大过程，避免了CARs的缺点。常规用于电子束光刻的 n-CARs如聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和氢倍半硅氧烷(HSQ)等能够形成高分辨率和低线边缘粗糙度(LER)的图案，但灵敏度普遍较低。如何提高n-CARs的灵敏度是目前亟待解决的问题。

文章主要内容

基于上述背景，中国科学院理化技术研究所李嫕研究员团队制备了两种以羧酸肟酯为光敏基团的聚合物(POXE-P和POXE-S)。两种聚合物均具有良好的溶解性、热稳定性和成膜性，满足光刻工艺对材料理化性能的要求。

图2 POXE-P光刻胶薄膜曝光机理

     上述工作以研究论文的形式在《高分子学报》2024年第10期印刷出版，第一作者为中国科学院理化技术研究所在读研究生安惠雯，通讯作者为李嫕研究员和陈金平研究员。