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GaN功率电子器件中体缺陷相关机制的建模仿真研究

已有 762 次阅读 2024-5-29 09:17 |系统分类:论文交流

在电力电子器件的外延生长和器件制备过程中,缺陷是不可避免的大量的缺陷在一定程度上牺牲器件的击穿电压、导通电阻等性能,同时影响器件的可靠性。近期,河北工业大学广东工业大学联合开发了缺陷相关的仿真模型,深入剖析了缺陷对GaN肖特基势垒二极管的影响,并实现了对器件动态特性的仿真。

 

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1 GaN基肖特基势垒二极管结构示意图

 

1展示了GaN基肖特基势垒二极管结构示意图,器件中划分了界面缺陷区侧壁缺陷区和体缺陷区。重点研究了体缺陷对GaN基肖特基势垒二极管器件性能的影响。体缺陷分为施主型缺陷和受主型缺陷,2a)和(b可以看出器件在正向导通时,受主型缺陷的存在会使得导通电阻显著增加。图2c)和(d)展示了当器件处于反向截止时的漏电流,施主型缺陷往往会削弱电荷耦合效应,导致器件提前击穿,而受主型缺陷则表现出相反的特征。

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2 a)不同浓度施主型缺陷b)不同浓度受主型缺陷对GaN基肖特基势垒二极管的正向电流-电压特性的影响;(c)不同浓度施主型缺陷d)不同浓度受主型缺陷对GaN基肖特基势垒二极管阻断特性的影响。

 

3a)和(b)展示了GaN基肖特基势垒二极管动态特性的仿真模型,电压从0 V增加到1.5 V再回到0 V时,具有施主型缺陷肖特基势垒二极管的正向导通特性几乎不发生变化,而具有受主型陷阱肖特基势垒二极管会产生显著的充电/放电效应,使正向导通特性发生显著漂移。

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3 a)不同浓度施主型缺陷b)不同浓度受主型缺陷对GaN基肖特基势垒二极管的双扫描导通特性的影响。

 

研究结果最近被SCI期刊Japanese Journal of Applied Physics收录,文章链接:https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/ad40eb



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