2. m-TCO (m = Ni, Ag, Cu)具有超高透明度、低薄层电阻和宽功函数可调性，在各种光电器件中具有出色的性能。

3. 功函数变化归因于提供空d轨道的间隙金属原子，导致费米能级的移动。

图1. 在TCOs表面植入金属。

薄膜电极必须具有两个基本特性——透明特性和导电性；然而，由材料的透明特性和导电性互不兼容。采用EMi处理后的m-TCO在整个可见光范围(400-700 nm)内都显示出高透光率(>85%)，而EMi工艺处理前的TCO透光率低于2%。此外，EMi处理后的m-TCO后，显著降低RSH。相对于薄膜厚度，m-TCO受透光率和RSH之间的反比关系的影响较小。此外，Ni-EMi在调节TCO的光电特性方面是最有效的。这是因为金属Ni和Ni氧化物的共存会产生一些光散射位点，从而导致光耦合强度的增强。

图2. m-TCOs透过率和导电性。

材料的功函数变化与ITO空位被占据后暴露在表面的Ni原子的掺杂浓度以及表面Ni-O键的形成密切相关。由于Ni原子的原子半径更小、电子亲和力更大、电负性更高，因此注入ITO的Ni原子可以更容易地产生Ni-O键。

IV 掺杂剂可调m-TCO机理的理论分析

图4. 理论计算。

V m-TCO作为阳极或阴极电极的设备级验证

图5. 使用m-ITO的有机和无机器件。

VI 结论与展望

Nano-Micro Letters《纳微快报(英文)》是上海交通大学主办、Springer Nature合作开放获取(open-access)出版的英文学术期刊，主要报道纳米/微米尺度相关的高水平文章(research article, review, communication, commentary, perspective, letter, highlight, news, etc)，包括微纳米材料的合成表征与性能及其在能源、催化、环境、传感、吸波、生物医学等领域的应用研究。已被SCI、EI、SCOPUS、PubMed Central、DOAJ、CSCD、知网、万方、维普、超星等数据库收录。2020 JCR影响因子IF=16.419，在物理、材料、纳米三个领域均居Q1区(前10%)。2020 CiteScore=15.9，材料学科领域排名第4 (4/123)。中科院期刊分区：材料科学1区TOP期刊。全文免费下载阅读(http://springer.com/40820)，欢迎关注和投稿。