以硝酸铈铵作为金属前驱体，尿素作为沉淀剂，将反应混合液100 ℃回流4 h，通过这种均相沉淀法成功合成了纳米氧化铈CeO2。通过透射电子显微镜(TEM)衍射图分析发现，所得到的沉淀物为立方氧化铈，颗粒基本粒径约为 8 nm，晶格常数为5.61Å，且通过该工艺合成粉末时，工艺参数的改变并不影响二氧化铈颗粒的形貌。同时考察了按照表1和表2所示，改变硝酸铈铵或尿素浓度合成了一系列纳米二氧化铈粉末的抛光性能，结果表明：1 wt.%的样品C对SiO2膜的去除率最高为2258 Å/min，对Si3N4的去除率为220 Å/min(即选择性= 10.2)，此外发现，提高尿素的浓度或在配方中引入H2O2会使抛光液的抛光活性显著降低。

根据相关文献，提出了硝酸铈铵和尿素反应机理：

但是根据相关文献报道，以硝酸铈(Ce3+)和尿素为反应物，在该反应体系中产物是氢氧化碳酸铈为稳定的中间体。这是因为铈的电荷为+3，在水热反应条件下不能进一步氧化为+4。但在本研究中，硝酸铈铵中铈离子的电荷约为+4，正好适合形成CeO2。