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印刷薄膜晶体管材料与器件技术研究进展
许伟1,2,黄湘兰1,2,彭俊彪1,2*
1. 华南理工大学,发光材料与器件国家重点实验室,广州510641
2. 华南理工大学高分子光电材料及器件研究所,广州510641
摘要 聚焦溶液印刷工艺制备薄膜晶体管(TFT)技术,综述了近年来印刷TFT材料与器件研究成果。TFT是平板显示器件的核心共有技术,决定了平板显示器的显示效果与显示质量。从TFT器件中的材料及工艺出发,分别介绍可印刷的导电材料、半导体材料和绝缘层材料,以及印刷制备TFT技术的发展现状。要实现印刷TFT技术的商业应用,还面临着诸如可印刷的高性能墨水材料开发、高均匀性薄膜印刷沉积工艺、较低的接触电阻、印刷TFT集成制备技术,以及如何实现印刷TFT在偏压、光辐照、温度等条件下的长期稳定性等问题。提出了随着新材料的进一步开发和印刷技术的发展,印刷技术将为实现低成本制造TFT提供一条有前景的途径。
关键词 薄膜晶体管;平板显示;印刷技术;溶液工艺
(责任编辑 王微)
http://www.kjdb.org/CN/10.3981/j.issn.1000-7857.2024.08.01028
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