印刷薄膜晶体管材料与器件技术研究进展

许伟^1,2，黄湘兰^1,2，彭俊彪^1,2*

1. 华南理工大学，发光材料与器件国家重点实验室，广州510641

2. 华南理工大学高分子光电材料及器件研究所，广州510641

摘要 聚焦溶液印刷工艺制备薄膜晶体管（TFT）技术，综述了近年来印刷TFT材料与器件研究成果。TFT是平板显示器件的核心共有技术，决定了平板显示器的显示效果与显示质量。从TFT器件中的材料及工艺出发，分别介绍可印刷的导电材料、半导体材料和绝缘层材料，以及印刷制备TFT技术的发展现状。要实现印刷TFT技术的商业应用，还面临着诸如可印刷的高性能墨水材料开发、高均匀性薄膜印刷沉积工艺、较低的接触电阻、印刷TFT集成制备技术，以及如何实现印刷TFT在偏压、光辐照、温度等条件下的长期稳定性等问题。提出了随着新材料的进一步开发和印刷技术的发展，印刷技术将为实现低成本制造TFT提供一条有前景的途径。

关键词 薄膜晶体管；平板显示；印刷技术；溶液工艺

（责任编辑　王微）

http://www.kjdb.org/CN/10.3981/j.issn.1000-7857.2024.08.01028