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第三代半导体辐射探测器研究进展
梁红伟,廖传武,夏晓川,龙泽,耿昕蕾,牛梦臣,韩中元
大连理工大学微电子学院,大连116024
摘要 以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)、金刚石等为代表的第三代半导体具有大的禁带宽度、高击穿电场、高饱和电子速率、高热导率以及具有高的位移阈能,耐高温、耐辐照能力,在核装置运行监测、空间探测、高能粒子物理探测等领域具有重要的应用潜力。介绍了第三代半导体的相关性质、辐射探测器主要制备方法以及不同类型辐射探测器的研究进展,展望了第三代半导体在辐射探测方面的发展趋势。提出第三代半导体辐射探测器的出现必然会促进核科学、空间探测、粒子及高能物理等方面的研究,对于国家提升核心竞争力具有重要的推动作用。
关键词 第三代半导体;辐射探测器;耐高温;耐辐照;宽禁带半导体
(责任编辑 王志敏)
http://www.kjdb.org/CN/Y2021/V39/I14/69
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GMT+8, 2024-9-27 11:13
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