作者: 王季陶

 

半年前, 我写过一篇博文 “以亲身经历为大学院系的学科发展叫好!”展望了物理类学科中的黑马—微电子学科. 如今的微电子在整个国家经济和军事方方面面的重要性是不言而喻的.

在我国“向科学进军”和国际上半导体技术发展的背景下, 1956年8月由北京大学黄昆、复旦大学谢希德等前辈学者牵头在北京大学举办了五校(北京大学、复旦大学、吉林大学、厦门大学和南京大学)联合组成约100人的半导体专门化培训班, 为我国以后半导体事业的发展准备了人才. 此后我国高校先后纷纷开设了半导体物理, 半导体材料等相关课程, 甚至在物理系设立半导体专业. 在工业界也出现了一些小型的晶体管工厂.   

但是, 半导体事业的真正快速发展, 在国内外都是在上世纪60年代, 其中最大的动力就是集成电路(IC, 又称微电子). 复旦大学的微电子研究也是60年代才起步的, 或者应该说国内的微电子事业因为受到当时的政治因素的影响, 都是在60年代后期才起步的.

整个半导体微电子事业离不开最基本的高纯度硅材料. 也就是要求达到九个9的高纯度, 即99.9999999%. 为了方便起见就把这个纯度称为9个N(Nine). 要知道就连国库中的储备黄金的纯度也只有99.95%(3个N). 其他化学试剂的纯度, 也只有3-4个N. 1969年复旦大学的半导体物理专业恢复时, 除了原来物理系的人力物力扩大以外, 相应地也从化学系调来一批人马(其中也包括我)设立了多晶硅和多晶硅等半导体材料课题组, 我们研究材料和工艺的小组在一间旧平房中工作了几十年. 最近的十多年前因为拆迁才搬进了楼房.

微电子系先后从属于电子工程系, 信息学院等. 如今的复旦微电子(包括“集成电路与系统”国家重点实验室)不仅单独成立了学院, 而且改造后的微电子学院净化实验室已经正式对外开放. 一系列的最新设备也先后安装完毕, 包括很多进口的先进设备. 特别是在原子层淀积(Atonic Layer Deposition)方面的优越性见长. 甚至在软硬件的水平方面超过一些国外的兄弟院校. 真是令人鼓舞! 当然还有集成电路设计等一大批人才和成就都来不及介绍.

在这样的日子里, 不能不让人想起当初1958年, “微电子学与固体电子学”学科的前身 --- “复旦大学半导体物理专业” 的创办人谢希德教授, 2000年在她只有79岁时就离开了我们. 我在复旦的微电子也将近半个世纪, 并不是她的子弟或学生, 但是她的人品一直是我所敬仰的!

 

http://me.fudan.edu.cn/index.asp

  复旦大学微电子学院（简称学院）成立于2013年4月，是由原“微电子研究院”、“信息学院微电子学系”和“985微纳电子科技创新平台”合并而成，也是复旦大学积极响应“国家急需，世界一流”号召，发展工科“先行先试”的首个改革试点单位，是直属于学校领导的教学科研实体单位。

   学院拥有的“微电子学与固体电子学”学科，其前身是1958年由谢希德教授创办的半导体物理专业，1984年设立博士点，1988年成为国家重点学科。学院拥有“专用集成电路与系统”国家重点实验室（1992年），具备国际一流的软硬件设计环境。学院承担着推动国家集成电路产业技术创新“抓住不放、实现跨越”的发展重任，以科学前沿和重大需求来驱动基础研究、先导研究和应用研究的有机衔接,着眼于培养国际一流的集成电路高级技术人才，解决集成电路领域国家重大需求和学科前沿问题，努力建设成为国际先进水平的集成电路人才培养与科研相结合的平台。

 

微电子学院净化实验室对外开放

   复旦大学作为我国微电子学科的创建者之一，又地处我国集成电路产业最聚集的地区上海，具有建设好微电子学院的独特优势。复旦大学微电子学院围绕国家重大需求，在高端人才培养、科学研究和成果转化上，以创新的模式实现“政产学研用”的无缝联接，将为支撑我国半导体芯片产业跨越式发展做出更多贡献。

   微电子学院净化实验室建有“集成电路国家先导工艺平台-先进互连子平台”，也是我校“微纳加工与器件平台”的重要组成部分，有千级净化面积约600平方米，百级净化面积100平方米，拥有多功能集束设备(集成了ALD、PVD、MBE、RTP、XPS腔体)、电子束直写设备(EBL)、刻蚀设备(RIE、ICP)、薄膜设备(LPCVD、PECVD、PVD、ALD)、快速热退火(RTP)、微波退火和清洗机等价值9000多万元的设备，具有开展先进纳米CMOS器件和工艺的研发能力。

    最近在半浮栅器件(SFG)、锗硅基隧穿场效应晶体管(TFET)器件、石墨烯基器件以及先进铜互连技术等方面取得重大研究进展。现已全面对外开放实验室设备，欢迎联系洽谈合作使用。

 

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