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为什么大功率的微波等离子体化学气相沉积金刚石膜系统难-难在哪
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关键词：微波 等离子体 化学气相沉积 金刚石 薄膜 产业化 资金 进口
补充链接：
金刚石薄膜的性质、制备及应用
http://blog.sciencenet.cn/blog-257140-231983.html
补充链接：
微波等离子体化学气相沉积——一种制备金刚石膜的理想方法
http://blog.sciencenet.cn/blog-257140-232233.html
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