yanglizhi的个人博客分享 http://blog.sciencenet.cn/u/yanglizhi

博文

新一代多弧技术发展展望

已有 770 次阅读 2020-9-8 14:30 |个人分类:等离子体应用|系统分类:论文交流

前言

2020.1.11,北京、广东等多地真空学协会合作,在北京召开了王殿儒教授薄膜工艺座谈会,本文是在王殿儒教授发言及相关工作基础上完成的。