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他们给ASML极紫外光刻机做光学系统和激光器, 荣获2020年的德国未来奖

已有 1806 次阅读 2020-11-30 02:05 |系统分类:人物纪事

德国未来奖(德语Deutscher Zukunftspreis) 是授予科技领域杰出贡献的奖项, 1997年起每年由德国联邦总统颁发, 奖金额为25万欧元。

2020年 (25.11.2020), 这个奖授予了以下三家的联合项目 极紫外光刻机核心部件 : 

·         Carl Zeiss SMT GmbH (Semiconductor Manufacturing Technology),

o   3000员工, 位于Oberkochen, ASML 2016年用10亿欧元买下24.9%.

·         Trumpf Lasersystems for Semiconductor Manufacturing

o   通快激光系统公司, 不到1000员工, 位于Ditzingen, 斯图加特很近

·         Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering (IOF)

o   弗劳恩霍夫应用研究所, 300 员工,位于Jena

划重点: 2000 个专利,一年10亿欧产值.  highlights 有 :

·         光源

EUV极紫外辐射 (英語: Extreme ultraviolet radiation), 波长13.5 nm .

脉冲激光器功率 30 kW, 产生EUV需要温度22°C的等离子体.      

每秒50000次,打中1 微米大小飞行中的金属液滴,时间精度1 纳秒.

                10 吨重, 45万个零部件.

·         镜片,

放大到35万平方公里的话,不平度相当于0.1mm .

                               类似比较: 普通镜子不平度会是5m , 天文望远镜不平度将会是2cm .

·         光学系统

           真空系统, 需要的稳定性相当于瞄准39万公里外月球上的一个高尔夫球.

           生产率2014: 10 (晶圆)/小时; 2019: 170 /小时 (经济性要求至少125 /小时) .

           芯片 7nm 10 nm 比较: 功耗下降50%, 性能提高20%, 硅片面积利用率提高40%.

 EUV 波长13.5 nm 为什么可用于7nm 的半导体生产呢?  

阿贝极限说,分辨极限大约等于波长的一半,7nm 就这样来的吧。

 image.png

(百度说) 1873年,德国物理学家阿贝发现了显微镜分辨极限的公式,被叫做阿贝极限。它大约等于光波波长的一半可见光中波长最短的是蓝紫光,其波长在0.4微米左右。因此,如果两点之间的距离小于0.2微米,我们将无法分辨出这是两个点。阿贝极限使我们无法更加深入地了解微观世界,例如病毒的直径通常就在0.02~0.3微米,无法用已有的光学显微镜观察清楚

image.png

源自

https://www.youtube.com/watch?v=uatZooWozhs

           ( Die Nominierungen zum Deutschen Zukunftspreis 2020 - YouTube )

值得一说的是Carl Zeiss公司所在地 Oberkochen, 海拔500米, 是个不到8000人口的小镇。

小镇附近没有什么大城市 : 

最近的(10公里)小城阿伦(德语: Aalen)人口7万, 往南50多公里远到的城市Ulm, 近13万人。

image.png

小镇 Oberkochen,德国巴符州 

image.png

Carl Zeiss SMT,位于Oberkochen 

image.png

山沟里的光刻高技术公司: Carl Zeiss SMT, 地图上看,山沟不到1公里宽。

为什么人家的山沟沟里留得住高技术人才呢?



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