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为什么大功率的微波等离子体化学气相沉积金刚石膜系统难-难在哪
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热度 1 2015-1-28 17:20
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关键词：微波 等离子体 化学气相沉积 金刚石 薄膜 产业化 资金 进口 补充链接： 金刚石薄膜的性质、制备及应用 http://blog.sciencenet.cn/blog-257140-231983.html 补充链接： 微波等离子体化学气相沉积 —— 一种制备金刚石膜的理想方法 http://blog.sciencene ...
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