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发几张自己处理的不错的具有台阶表面的衬底,以纪念过去的努力

已有 4737 次阅读 2013-6-13 07:24 |个人分类:学习感悟|系统分类:科研笔记| 衬底处理

长薄膜的人都知道要获得高质量的薄膜,首先要有高品质的具有台阶表面的衬底。目前国内厂家出厂衬底一般都是没有台阶表面的。若要购买台阶表面衬底皆要从国外,例如日本,购进,价格及其昂贵。所以去年在真正长薄膜之前,我做了好几个月的衬底处理工作,最后总算功夫没有白费,摸出了几种衬底的处理方法。虽然因为出厂衬底本身miscut各异,获得台阶表面衬底表面台阶还不是那么完美,但终归是比不处理有了极大的提高,可以基本满足长薄膜的需要。这里贴出几张图片来,以纪念自己过去的努力!

   第一张 出厂001SrTiO3衬底

   第二张 处理好的001SrTiO3衬底

   第三张 处理好的001SrTiO3衬底

   第四张 处理好的110 DyScO3衬底

   第五张 处理好的110 GdScO3衬底

   第六张 处理好的111SrTiO3衬底

 



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