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精密微细电铸制造实验室

已有 4338 次阅读 2011-5-26 14:58 |个人分类:信息发布|系统分类:科普集锦| 精密加工, 电化学, 电铸, 特种加工, UV-LIGA

1. 精密微细电铸实验室
    

精密电铸制造实验室建于2008年,隶属于河南省高校精密制造技术与工程重点学科开放实验室。实验室面积60余平方米,拥有数控双脉冲电镀电源、高精度直流可编程电源、大功率直流稳压电源、超声清洗机、电子天平、强永磁装置、通风柜等设备二十余台。现主要承担国家自然科学基金、河南省重点科技攻关等项目的研究和十多项企事业单位委托的技术攻关任务。

                                      电铸实验室

2. 超净实验室

微纳米加工超净实验室建于2008年,隶属于河南省高校精密制造技术与工程重点学科开放实验室,属于10000级恒温恒湿净化实验室。实验室面积30余平方米,拥有光刻机、匀胶机、烘胶机、电子显微镜、涡流测厚仪、通风柜等设备十余台。实验室依托UV(紫外)-LIGA、光刻、刻蚀等工艺技术制造微纳米级复杂特征结构如精细滤网电铸芯膜、微生物反应器、微探针等,现主要承担国家自然科学基金、河南省重点科技攻关等项目的研究和企业合作开发任务。

 



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