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【报告】柔性电子异质结构热-机械翘曲分析

已有 6174 次阅读 2009-8-28 21:27 |个人分类:科研|系统分类:科研笔记| 聚合物, 屈曲, 临界应变, PDMS, 结构力学

       2009年8月24-26日参加了中国力学学会学术大会2009的柔性电子器件力学的专题研讨会,与会者有美国西北大学黄永刚教授,清华大学冯雪副教授、以及来自华中科技大学、浙江大学、西安交通大学、宁波大学等高校的年轻教授,我本人做了“柔性电子异质结构热-机械翘曲分析”的报告。摘要如下:

       柔性电子是建立在柔性和可延性基板基础上的新兴电子技术,与传统电子最根本区别在于以柔性基板取代传统的刚性基板,具有良好的柔性和延展性,在使用过程中要经得起反复的拉伸、卷曲和折叠,从而对材料的力学性能、创新性的结构设计和高效高精制造技术提出了挑战。当柔性电子的性能可相当于传统脆性半导体所建立的微电子时,由于其高移动性、透明、轻质和柔性等特点,必将促使许多新的应用,例如,柔性显示器、太阳能电池、机敏皮肤、可穿着电子、健康检测、分布式传感器/作动器等,在国防、能源、医疗、军事、信息等领域具有重要应用价值。
       本文研究了弯曲/延展电子的温度效应,通过揭示制造和使用中的三个关键温度(室内温度、沉积温度和工作温度)对结构的应力、应变、波长等影响加以展现,可用于可靠性结构设计和热翘曲行为分析等。首先,介绍了可伸缩柔性电子的制备过程,以及本文中采用力、热混合作用产生预应力制备方法的特点。其次,根据无机薄膜和有机基板界面处的应变连续性建立分析模型,研究了无机材料和温变有机材料混合结构在整体翘曲情况下,基板弹性模量温度效应对薄膜-基板结构柔性电子中的应力/应变的影响,以及薄膜-基板结构的整体翘曲行为。发现了由温度和外部载荷共同作用诱导的几何非线性,从结果中可以发现温度对应变的变化曲线存在极点,但是单独在温度或力作用下不会产生非线性现象。并对温度进行敏感度分析,可发现关键参数k对结构应力应变的影响。由于极点的存在,通过调节参数k弥补有机基本和无机薄膜热膨胀系数失配引起的内部应力变化,可从理论上消除工作温度变化引起的内部应力变化,极大的提高周期性温度载荷作用下结构的可靠性,如周期性温度作用下的太阳能电池、卫星天线系统。然后针对薄膜-基板结构的局部翘曲行为,研究了温度对含温变材料的结构临界应变、波长和波幅的影响规律,可预测不同温度下的结构翘曲波长、波幅等。分析了温度作用下结构的临界应变,并得到临界翘曲工作温度与室温、沉积温度,以及基板厚度关系。并将临界应变与实际温度作用下薄膜的应变进行比较,得到临界工作温度(由工作温度直接产生翘曲)。最后,通过计算了薄膜的峰值应变,及其与温度的映射规律,得到伸缩电子制备中的最大允许预应变,这通常是薄膜极限应变的几十倍。通过近似理论结果与有限元仿真结果进行比较分析,得到了温度对翘曲结构的影响规律。
       本文为分析温度对柔性电子的影响提供了一个基本方法,包括关键温度,临界翘曲温度,温变材料结构的临界应变、波长和波幅等,有助于柔性/伸缩电子的制备,如光刻的套准精度,结构可靠性和热管理,以及橡胶基板制备进行优化(包括耦联浓度(cross-linker concentration),烘烤温度和时间等),以及伸缩电子的翘曲行为的预测和微结构控制等。



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1 王汉森

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