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中国科大建成高空间分辨X射线成像实验站

已有 3586 次阅读 2007-11-10 10:01 |个人分类:催化科技导读

中国科大建成高空间分辨X射线成像实验站

中国科学技术大学

日前，中国科技大学国家同步辐射实验室在教育部“985”二期工程的支持下，建设了一条X射线成像光束线和实验站。目前新的实验站已完成安装调试，空间分辨率达到50纳米，其分辨能力达到国际先进水平。实验站具有吸收衬度、相位衬度成像和三维成像等功能，可用于表征纳米/亚微米材料，观察细胞和组织的内部结构和形貌变化，在细胞、植物和污染物的内部进行元素定位等，为纳米材料、环境科学和生物医学等提供了一种先进的实验手段。

显微镜是观察微观世界的最主要工具。电子显微镜、近场显微镜、原子力显微镜、扫描隧道显微镜等显微工具在工业、农业、科学技术等各个领域发挥了不可估量的作用，深刻地影响了人类社会的发展进程。X射线显微镜具有较高的空间分辨率，且X射线穿透深度大，无需复杂的制样和真空环境，同时X射线成像衬度丰富且具有三维成像能力等突出优点。因此世界上各先进光源对此高度重视，纷纷建设了高空间分辨X射线成像实验站。

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微细加工实验室为国家同步辐射实验室下的以LIGA/UV-LIGA等微加工工艺为主的微型加工实验室，在一期工程和二期工程、211工程等支持下，建有 100级洁净室（无尘实验室）50m2，1000级湿洁净室120m2。拥有电子束光刻、紫外光刻、离子束刻蚀、反应刻蚀、电镀等工艺设备10余台。
实验室主要从事同步辐射光刻、X射线成像技术及应用、LIGA技术、ＭＥＭＳ、色分离和光束匀滑元件以及纳米器件等的研究工作。

研究方向：
1. 高空间分辨X 射线成像

高空间分辨位相衬度成像、三维成像(NanoCT)，高空间分辨成像在纳米材料、环境科学以及生物医学中应用研究。

2. 微细加工技术

亚微米、纳米光刻及器件制作以及应用研究

3．大面积衍射光学元件