声表面行波器件及其在微纳领域的应用

董惠娟，王敬轩，李天龙

哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室，哈尔滨150001

摘要 声表面行波因其非接触性及生物相容性，在生物医学、诊断学领域得到了广泛关注。概述了声表面行波（TSAW）发生器件的基本结构，叉指换能器（IDT）的结构、参数、种类及引起声表面行波的内在机理，讨论了对微流体状态及微流体中粒子的声控制机理；综合当前该技术国内外研究现状，分析了在微纳领域中声表面行波相对于其他物理场的优势；针对声表面行波在微纳领域应用的技术难点及研究过程中存在的问题，提出了该技术的研究方向，并展望了其未来发展趋势。

关键词 声表面波；叉指换能器；声表面行波；微流体；微粒子操纵

（责任编辑  刘志远）

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