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德国未来奖(德语Deutscher Zukunftspreis) 是授予科技领域杰出贡献的奖项, 1997年起每年由德国联邦总统颁发, 奖金额为25万欧元。
2020年 (25.11.2020), 这个奖授予了以下三家的联合项目 极紫外光刻机核心部件 :
· Carl Zeiss SMT GmbH (Semiconductor Manufacturing Technology),
o 3000员工, 位于Oberkochen, ASML 2016年用10亿欧元买下24.9%.
· Trumpf Lasersystems for Semiconductor Manufacturing
o 通快激光系统公司, 不到1000员工, 位于Ditzingen, 斯图加特很近
· Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering (IOF)
o 弗劳恩霍夫应用研究所, 300 员工,位于Jena
划重点: 2000 个专利,一年10亿欧产值. highlights 有 :
· 光源,
EUV极紫外辐射 (英語: Extreme ultraviolet radiation), 波长13.5 nm .
脉冲激光器功率 30 kW, 产生EUV需要温度22万°C的等离子体.
每秒50000次,打中1 微米大小飞行中的金属液滴,时间精度1 纳秒.
10 吨重, 45万个零部件.
· 镜片,
放大到35万平方公里的话,不平度相当于0.1mm .
类似比较: 普通镜子不平度会是5m , 天文望远镜不平度将会是2cm .
· 光学系统
真空系统, 需要的稳定性相当于瞄准39万公里外月球上的一个高尔夫球.
生产率2014: 10 片(晶圆)/小时; 2019: 170 片/小时 (经济性要求至少125 片/小时) .
芯片 7nm 与10 nm 比较: 功耗下降50%, 性能提高20%, 硅片面积利用率提高40%.
EUV 波长13.5 nm 为什么可用于7nm 的半导体生产呢?
阿贝极限说,分辨极限大约等于波长的一半,7nm 就这样来的吧。
(百度说) 1873年,德国物理学家阿贝发现了显微镜分辨极限的公式,被叫做阿贝极限。它大约等于光波波长的一半。可见光中波长最短的是蓝紫光,其波长在0.4微米左右。因此,如果两点之间的距离小于0.2微米,我们将无法分辨出这是两个点。阿贝极限使我们无法更加深入地了解微观世界,例如病毒的直径通常就在0.02~0.3微米,无法用已有的光学显微镜观察清楚。
源自
https://www.youtube.com/watch?v=uatZooWozhs
( Die Nominierungen zum Deutschen Zukunftspreis 2020 - YouTube )
值得一说的是Carl Zeiss公司所在地 Oberkochen, 海拔500米, 是个不到8000人口的小镇。
这小镇附近没有什么大城市 :
最近的(10公里)小城阿伦(德语: Aalen)人口7万, 往南50多公里远到的城市Ulm, 近13万人。
小镇 Oberkochen,德国巴符州
Carl Zeiss SMT,位于Oberkochen
山沟沟里的光刻高技术公司: Carl Zeiss SMT, 地图上看,山沟不到1公里宽。
为什么人家的山沟沟里留得住高技术人才呢?
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GMT+8, 2024-9-20 18:11
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